產(chǎn)品分類
更新時(shí)間：2025-06-12 
瀏覽次數(shù)：653
NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動(dòng)
優(yōu)良的耐腐蝕性
標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
選購(gòu)件
可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。
• 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
• 排出非活性氣體（濺射鍍膜、 蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
• 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
• 作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）。
• 冷凍干燥等水蒸氣排氣。
技術(shù)參數(shù)
外形尺寸圖
抽氣速率曲線
* 1 極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w）在5.0 SLM時(shí)的值。
* 2 無(wú)結(jié)露。
* 3 用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 4 氮?dú)猓芊鈿怏w）流量5.0 SLM是固定值。
關(guān)于我們
公司簡(jiǎn)介榮譽(yù)資質(zhì)資料下載產(chǎn)品展示
10HEIDON新東科學(xué) 摩擦系數(shù)測(cè)試儀 杭州 38PHEIDON新東科學(xué) 刮痕測(cè)試機(jī) 38FHEIDON新東科學(xué) 鋼絲絨耐久性刮痕測(cè)試儀 18LHEIDON新東科學(xué) 刮痕強(qiáng)度測(cè)試儀 寧波 18HEIDON新東科學(xué) 刮痕強(qiáng)度測(cè)試儀服務(wù)與支持
技術(shù)文章新聞中心聯(lián)系我們
聯(lián)系方式在線留言版權(quán)所有 © 2026 北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司 備案號(hào)：京ICP備17005343號(hào)-5
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸 sitemap.xml
電話：TEL
地址：ADDRESS
掃碼關(guān)注我們
我的位置：
上一篇：
在線咨詢
返回頂部