日本ULVAC愛(ài)發(fā)科螺桿型干泵 Model:LS120A北崎熱賣(mài)

更新時(shí)間：2025-08-19

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螺桿型干泵Model:LS

"Model:LS"真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過(guò)螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合，使該Model產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
在4種機(jī)型中，您可根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件及用途選擇最佳排氣容量的泵。

LS120A
LS300A
LS600A

特點(diǎn)

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時(shí)間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專(zhuān)用消音器能解決干式真空泵的噪音問(wèn)題。極限壓力時(shí)的噪音值在61dB（A）以下，
　這是一個(gè)在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中也不會(huì)打擾到您的噪音等級(jí)（*1)）
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛(ài)發(fā)科技術(shù)。
　該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■“Model:LS"無(wú)需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本（*3)
■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話，建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。
　通過(guò)組合使用排氣速度可以達(dá)到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C時(shí)
（*2）C規(guī)格時(shí)
（*3）L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。

用途

“Model:LS"有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來(lái)說(shuō)，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來(lái)說(shuō)諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格

型式	（C：C式樣）（L：L式樣）	LS120A		LS300A		LS600A		LS1200A
		C	L	C	L	C	L	C	L
最大排氣速度	m³/h	120		380		600		1000
到達(dá)壓力	Pa	≦0.6		≦0.1
電源電壓		200V級(jí)：3相、50/60Hz、AC200-240V 或　400V級(jí)：3相、50/60Hz、AC380-480V
消費(fèi)電力概略值 *1	kW	0.6	2.0	1.0	2.5	1.3	2.6	1.3	2.7
冷卻水量	L/min	>2.0		>4.0
Purge gas 量 *2	SLM	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50	‐	0～50
最大水蒸氣處理量 *3	kg/h	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5	‐	1.5
噪音值*1	dB(A)	61		61		62		64
吸氣口		KF50(水平)／ VG50(垂直)		ISO-F-50		ISO-F-80		ISO-F-100
排氣口		KF40		KF40		KF40		KF40
質(zhì)量	kg	142		220		242		266
適用規(guī)格		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品		電源用連接器、防水電纜夾、信號(hào)用連接器、電源連接保護(hù)器
本體選配件		電源電壓：200V級(jí)或400V級(jí)、密封部材質(zhì)：全氟彈性體(僅用于L型)
外部選配件		MBP吸氣口變換Flange、外殼排氣Port、耐震固定用金屬、LR互換Unit(吸氣口、信號(hào))、 Gas purge

*1：到達(dá)壓力時(shí)
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時(shí)的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對(duì)應(yīng)無(wú)漏

排氣速度曲線

LS120A	LS300A
LS600A	LS1200A

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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科螺桿型干泵 Model:LS120A北崎熱賣(mài)

螺桿型干泵Model:LS

特點(diǎn)

用途

規(guī)格

排氣速度曲線